微細欠陥検査装置（中央電機計器製作所）

引用元：中央電機計器製作所公式HP（https://www.e-cew.co.jp/products/micro_defect_id/）

微細欠陥検査装置のおすすめポイント

高解像度カメラ×高精度XYステージを採用

微細欠陥検査装置は高解像度カメラと高精度XYステージを採用した二次元検査装置です。 600×400mmまでの範囲の欠陥検査が可能であり、高さ30mmまでの被測定物に対応。タッチパネルやプリント基板などの表面検査におすすめです。検査はスピーディに行われ、検査データと撮影した画像は自動で保存されます。

高い分解能で高精細な検査が可能

900万画素のCCDカメラを採用している微細欠陥検査装置。光学分解能は1.8μmを確保しているため、高精細な検査が可能です。微細な検査箇所でも見えやすく、NG箇所は色分けして表示されます。

抜き打ち加工品の寸法測定も可能

微細欠陥検査装置は表面の欠陥検査に用いられますが、寸法測定にも対応可能です。たとえば二次元の抜き打ち加工品の寸法を検査することもできます。

タッチパネルの欠陥検査

タッチパネルの周辺電極欠陥検査を行えます。断線や短絡の有無はもちろん、配線の凹凸についても検査可能。電極フィルムの狭ピッチ配線も見逃しません。

シート表面の欠陥検査

シート表面にある微細なキズや異物を検査することができます。1.8μmの光学分解能が見落としやすいキズや異物でも高精細に検出。金属表面の検査も可能です。

基板欠陥検査

基板についたキズのほか、パターンの欠陥やメッキ欠陥なども検出できます。また、欠陥検出だけではなく、検査画像を保存しておくことができます。

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