ブライトライトウェハ表面検査装置（ハイソル）

ソフトウェア上でレシピを作成することで、ウェハ表面のさまざまな欠陥を検査することが可能。レシピは装置中央のタッチパネルで作成でき、すべてのオペレーターと共有できます。システムの操作は自動または手動で行なえ、手動モードならさまざまなプロセスを任意で行なえるのが特徴。検査に合わせて効率的な操作性を選択できます。

ハイソルが販売しているブライトライトウェハ表面検査装置には、装置にセットされたウェハカセットのマッピングを自動で行なう機能がついています。ウェハを自動で検知することにより、作業の省力化とタクトタイムの短縮を実現することが可能です。マッピングで取得した情報は、ソフトウェアに記録されます。

ハイソルでは、ブライトライトウェハ表面検査装置のほかに、顕微鏡用ローダー装置も取り扱っています。装置にセットしたウェハをカセットから顕微鏡の検査用ステージに自動で移動でき、効率的な検査を叶えることが可能。ほぼすべての顕微鏡との互換性があるため、既設の顕微鏡を買い替えることなくスムーズに導入できるのがポイントです。

ソフトウェアを使ったレシピ編集で検査プロセスを自由に作成でき、目的に合った効率的な検査を行なえます。さまざまなタイプの欠陥を検査できるとしていますが、具体的な検査項目については公式HPに記載されていなかったため、詳しくはハイソルにお問い合わせください。

ウェハ表面検査装置には、3軸に傾斜・回転を行なえるチャックとブライトライトが搭載されています。それにより、ウェハ検査に最適な環境を作り出すことができ、検査の品質向上を叶えることができるでしょう。