INSPECTRA（TASMIT）

INSPECTRAシリーズはハイスピードで効率のいい自動検査を実現。前工程から後工程に至る、すべての検査に対応しています。INSPECTRAシリーズには高いクリーン度が求められる工程に対応した機械も用意されており、工程に合わせて検査装置を選択可能です。TASMIT社のSRシリーズの後継機である3000SR-Ⅲ200や3000SR-Ⅲ300は、SRシリーズと比べて1.5倍の感度。感度の高さと全数検査の両立が図られているのが、INSPECTRAシリーズの特徴です。

「良品学習アルゴリズム（DSI比較法）」を採用しているINSPECTRAシリーズ。このアルゴリズムがプロセスの変動要因を吸収してくれるので、類似欠陥の発生を抑えられます。検査の精度が高めるのに余念がないTASMIT社の姿勢がうかがえます。

ワークサイズによってさまざまな製品が選択できるINSPECTRAシリーズ。2～8インチの「7000SR-Ⅲ200」「3000SR-Ⅲ200」、8～12インチの「7000SR-Ⅲ300」「3000SR-Ⅲ300」がラインナップされています。3000SRシリーズは、各種LSI,CIS、MEMSなどの高感度検査にも対応しているのが特徴です。検査したい対象物の大きさや検査の内容によってシリーズから選択できます。

欠陥の検出だけでなく、オプションで自動欠陥分類ができます。欠陥を分類することで、今後の欠陥品の原因や改善に役立てることができるでしょう。結果解析機能も装備可能。製品の精度を高めるために、多様な機能をオプション装備できます。

INSPECTRAは欠陥カラー画像を保存可能。レビュー装置を使用すれば、欠陥のアドレスから欠陥画像を取得し、分類まで可能です。レビュー装置は高精細画像を高速で取得。ADCシステムとの接続で欠陥分類し効率化を実現します。撮影条件は欠陥モードに応じて任意に設定可能です。

パターンなしの検査では、画像を比較することなく欠陥を検出してくれるINSPECTRA。検出器は、異物や欠陥による光の散乱を読み取ります。また、位置ずれや欠陥イメージがなくても不良品を検出できる機能をオプションで装備可能。検査の幅が広がる検査装置だと言えます。