表面検査装置VSI-01（ジャステム）

表面検査装置VSI-01の検査方式には「散乱光検出方式」を採用しています。ウエハにレーザー光を照射して欠陥検出を行う方法であり、ウエハ表面にパーティクルがある場合は散乱光が生じる仕組み。
φ0.2μm以上の異物検出が可能です。

VSI-01が対応するウエハはシリコン製のφ5、6インチウエハ。厚みは700～800μmであり、ウエハサイズは相談に乗ってくれます。
なお、VSI-01ではポリッシュ後のウエハにおける異物や表面欠陥、キズ、表面粗さなどの検査を行えますが、検査は裏面真空吸着で行うためウエハ表面には接触しないのが特徴。ウエハを傷つける心配がありません。

製作会社であるジャステムにはウエハ検査装置の共同開発を行う「DemoLab（デモラボ）」があり、顧客企業の要望に合った検査装置の設計・製造が可能。
デモ測定を行ってからオーダーメイド製作を開始するため、「装置をつくったのに使えない」というリスクがありません。「既存の装置では自社に必要な検査を満足に行えない…」という場合は、デモラボの活用がおすすめです。

ポリッシュ後のシリコンウエハに付着したパーティクルなどの異物検査を行えます。ウエハ表面にレーザー光を照射し、異物によって生じた散乱光やウエハ表面の計測データをもとに計算。特定位置にある異物を検出できます。なお、VSI-01の設置環境はクラス100となっています。

ウエハ表面に生じたキズや欠け、汚れなどの欠陥を検査できます。また、ミクロの凹凸から生じる表面粗さの検査も可能。ウエハ表面の粗さは半導体デバイスの特性劣化につながりますから、しっかりとチェックする必要があります。