光干渉式内周面精密測定機（アダマンド）

アダマンドが開発した内周面精密測定機には、近赤外光の光干渉が利用されています。これまで部品を縦に割る必要があった精密細孔加工部品の内周面評価に対し、光干渉を利用することで非接触・非破壊方式で細孔内周面のビジュアル化が可能に。φ0.9mmの極小径モーターを使用しており、内径φ1.1mmから測定できます。

従来の基準パイプ無しの測定機は、回転走査機構の振れ変化と振動による測定誤差が課題となっていました。アダマンドではこれまで培ってきたマイクロモータと光学部品の精密製造ノウハウを生かし、機械の振動と光のゆらぎを排除する石英パイプ基準式を採用。測定誤差が微小で、繰り返し測定精度も0.2μm以下と高精度な測定を叶えています。

アダマンドの光干渉式内周面精密測定機では細孔の内周面観察・測定のほかに、内径、真円度、粗さ、形状を同時に測定することが可能。これまで専用測定器を使って別々に測定しなければいけなかったものが1台に集約されていることで、計測時間の大幅な短縮や測定スループットの改善を実現できます。

ハイブリッド式自動車エンジンにおける摩擦ロスの50％を占めるといわれているのが、シリンダボア内周面の摩擦です。アダマンドの光干渉式内周面精密測定機ではボア1つ当たり16秒～25秒で、内径・真円度・円筒度・3D形状精度の自動検査が可能。摩擦ロスを低減し、燃費性能の改善に貢献しています。

焼結軸受や自動車に使用される焼結金属製のガイド部品には、内周面にポーラスと呼ばれる凹部が設けられています。ポーラス率の測定はこれまで部品を縦に切断する破壊試験法しかありませんでしたが、アダマンドの光干渉式内周面精密測定機なら非破壊検査でポーラス・クロスハッチの測定が可能です。

アダマンドの光干渉式内周面精密測定機には3D自動傾斜補正機能がついており、リングゲージを測定機に置くだけで内径や真円度、円筒度を測定することが可能。位置合わせの必要がないため、個人差で検査にズレがでる心配がありません。繰り返し測定精度の代表値は約0.02μｍとなっています。