ウエハ・チップ外観検査装置 HM-256（ヒューブレイン）

ヒューブレインが開発したウエハ・チップ外観検査装置「HM-256」は、3CCD 200万画素カラーカメラを標準装備。ウエハやダイシング工程における半導体チップの検査ができ、二値特徴量やグレー特徴量など複数の条件式から判定。不良の分類も可能です。
なお、1.5～5µの範囲の画像分解能のほか、オプションの組込用顕微鏡をつければサブミクロンの分解能を用いた検査も可能です。

HM-256では1回の検査で複数レシピを使用できるため、異なる画像分解能や照明、判定プログラムなどを設定できます。
なお、検査はXYテーブルでワークを移動させながら行い、複数チップの検査を1視野で実施。効率的に検査を進められます。

HM-256にはオートローダーも装備されています。オートローダーが連続供給を行ってくれるほか、検査の結果NGと判断されたチップの排除も可能。さらに、オプションにて全数の排除ミスやマーキングミスをチェックしてくれる機能も追加できます。
なお、オートローダーや排除機構を必要としない場合は廉価版のHS-256Gも用意しています。

ウエハの外観検査では、2～8インチサイズ、最大210mmの検査範囲であれば対応可能です。処理能力は2インチサイズのウエハで分解能2.5µ時　約1.5～4分/レシピ。HM-256なら微細なキズや汚れも検出してくれます。

チップサイズ100µｍ～対応可能。各種パターンに対応しており、チップサイズなどの条件によるものの1秒間に3～6チップの排除が可能。マーキング時間はインカーの場合3～4チップ/秒、レーザーマーカーでは10チップ/秒。なお、厚み公差が150µmあっても検査が可能です。

HM-256ではオプション装備にてプレスキャンが可能なため、照明として使う大型LEDチップの外観検査も行えます。微細なキズや汚れ、変色などを検出してくれます。